Beschichten

Der vollautomatische Beschichtungsprozeß gliedert sich in Prozeßschritte, die je nach Anforderung individuell programmiert werden können.

Zunächst wird unter Vakuum an die Werkzeuge eine negative Spannung (Bias) angelegt, die ein Inertgas (reaktionsträges Gas) auf die Substrate hin beschleunigt.

Dies führt zu der sogenannten Glimmentladung (Glow Discharge), dem letzten Reinigungsschritt vor der Beschichtung.

Durch das Zünden der Verdampfer (Triggern), die in jeder Raumlage angeordnet werden können, wird ein Lichtbogen erzeugt, der auf der Oberfläche des Verdampfungsmaterials (Kathode) brennt.

Die Temperatur des Lichtbogens führt dazu, daß am Fußpunkt des Lichtbogens, dem Kathodenfleck, festes Metall schlagartig in den gasförmigen Zustand versetzt wird; es entsteht elektrisch positiv geladener Metalldampf.

Dieser wird unter Zugabe von Reaktionsgas zu den negativ geladenen Werkzeugen hin beschleunigt, auf deren Oberfläche er zu einer Hartstoffschicht kondensiert.